光学干涉测厚系统
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PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学，用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度，以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制，能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度，精准度可达纳米级。
PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪，其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司，其微型光谱仪体积小巧，可对全谱进行快速采集，产品应用广泛，可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业，可进行 Low-E玻璃镀膜检测，ITO玻璃镀膜检测，PET涂布在线膜厚检测，金属表面涂层检测，半导体，LCD膜厚检测等。
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