光氧催化废气处理设备主要利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物的分子链在高能紫外线的光束的照射下降解转变成低分子化合物（CO2和H2O等）。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子及水分子产生游离氧（活性氧）和OH自由基，因游离氧和所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。

UV光氧是废气处理设备本身清洁无污染，因此在运行和处理过程中不会对周围大气或厂房内部造成任何污染，而只会改善范围内的环境质量，提高大气质量。因此，该设备在设计上也具有全新的技术优势，废气处理技术越来越先进。