溅射靶材是一种通过溅射法生成薄膜的材料,由金属及陶瓷加工制造而成。
我们通过将熔化技术,烧结技术,合成技术以及加工技术进行技术融合,可以对各种素材,纯度以及形状的产品进行处理。
| 高纯度金属 | Al, Co, Cu, Fe, Mg, Mn, Sn |
|---|---|
| 高熔点金属合金 | Cr,Mo,Nb,Ta,Ti,V,W系列的合金 |
| 非磁性合金 | Al, Bi, Cu, Mg, Sn, Zn系列的合金/ Bi2Te3, Mg2Si |
| 磁性合金 | Co, Fe, Ni系列的合金/ Co-Fe-B, Co-Pt, Fe-Pt |
| 赫斯勒合金 | Co, Fe, Ni基赫斯勒合金 |
| Mn系列的合金 | Mn-Al, Mn-Bi, Mn-Ga, Mn-Ir, Mn-Si |
| 贵金属合金 | Au,Ag,Pt,Pd系列的合金 |
| 氧化物 |
Al2O3,MgO,SiO2,TiO2,ZnO,La2O3 ITO,PZT,STO,LiCoO2,Li4Ti5O12,Li3PO4 |
|---|---|
| 碳化物 | SiC,B4C,WC |
| 其他化合物 | 氮化物,氟化物,磷化物,硫化物,硒化物 |
| 金属相 | Co-Cr-Pt, Fe, Fe-Ni, Fe-Pt等各种纯金属・合金 |
|---|---|
| 非金属相 | Al2O3, MgO, SiO2等各种氧化物・氮化物 |
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