二氟化氙
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二氟化氙（XeF2），又称二氟代氙，分子量为169.30，是一种无色固体，在电子工业中，XeF2常被用作硅的蚀刻气体，由于XeF2和硅的化学反应是自发反应，XeF2对硅的刻蚀工艺具有非常高的选择性，在XeF2对硅进行刻蚀过程中，XeF,气体通过自由扩散到硅衬底表面，并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4，从而实现对硅的腐蚀。
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- 品牌 重山光电
- 规格型号 99.999%
- 行业分类 化工
- 产品类别
- 生产商
- 产地 中国山东省淄博市
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