1、基本信息

TiAL靶 粉末热等静压加工工艺，靶材表面，靶材表面光洁平整无任何斑点，四周无切割痕迹、无油污、水印、凹坑、杂质、孔洞、划伤、划痕等明显的外观缺陷，内部无气孔、夹杂、分裂等问题，磨光，光洁度要求≤1.6微米。
2、規格
比例：20/80 30/70 33/67 40/60 50/50 60/40 70/30 80/20；

致密度：≥99.9%；

晶粒度：50-100um；

可加工尺寸：各种尺寸的多弧靶、平面靶。

3、检测方法

外觀分析,密度分析,成分分析,N/O分析,金相分析,BSE分析,EDS分析、超声波（UT）检查