1、基本信息
TiAL靶 粉末热等静压加工工艺,靶材表面,靶材表面光洁平整无任何斑点,四周无切割痕迹、无油污、水印、凹坑、杂质、孔洞、划伤、划痕等明显的外观缺陷,内部无气孔、夹杂、分裂等问题,磨光,光洁度要求≤1.6微米。
2、規格
比例:20/80 30/70 33/67 40/60 50/50 60/40 70/30 80/20;
致密度:≥99.9%;
晶粒度:50-100um;
可加工尺寸:各种尺寸的多弧靶、平面靶。
3、检测方法
外觀分析,密度分析,成分分析,N/O分析,金相分析,BSE分析,EDS分析、超声波(UT)检查
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