钌靶主要用于真空镀膜领域
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化学纯度 |
尺寸规格 |
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99.95% 99.98% 99.99% |
尺寸:直径20~300mm,厚度1~60mm按要求定制 |
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杂质元素 ≯(﹪) |
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Pt |
Pd |
Rh |
Ir |
Au |
Ag |
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0.005 |
0.005 |
0.003 |
0.008 |
0.005 |
0.0005 |
|
Cu |
Ni |
Fe |
Pb |
Al |
Si |
|
0.0005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.001 |
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