RMS-1000P 系列高温薄膜/薄片

Partulab RMS-1000P高温四探针测量系统主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能，该系统采用直排四探针测量原理和单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计研发，可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗 单晶（棒料、晶片）电阻率和硅外延层、扩散层和离子注 入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻和电阻率。该系统广泛应用于高校科研院所和企业单位半导体薄膜和薄片材料电学性能研究

其他产品：

DMS系列-高低温介电温谱测量系统、四探针测量

RMS系列-电阻率测量系统、气敏电阻测量系统；

MPD系列-多路油浴极化装置、高压极化仪

MPT系列-压电陶瓷极化设备；

MRVS系列-真空封管机+系统、玻璃石英管抽真空设备；、

ARVS系列-全自动真空封管机

售后服务：

1、免费安装培训，安装培训过程中供货方工程师的所有费用由供货方承担。

2、安装验收后，由供货方提供主机一年免费保修，终身维护。

3、如果仪器附带软件，供货方提供免费软件升级，同时不定期地邮寄相关资料