PFA氟化氢装置是一种专用于氟化氢（HF）及含氟化合物处理的特种设备，其核心优势在于PFA（全氟烷氧基树脂）材料的强耐腐蚀性、高纯度和耐温性，适用于半导体、化工及核工业等领域的高纯氢氟酸制备与回收。

一、核心构成

1. ‌反应单元‌

   ‌PFA反应瓶‌：圆底/平底烧瓶（250mL-50L），可选单颈、三颈或四颈设计，带液位计观察窗，接口标准为17/19/24口，螺纹密封便于拆洗。

   ‌蒸馏模块‌：PFA夹套反应釜或圆底烧瓶，配套PFA蒸馏头、尾接管，支持高温蒸馏（≤260℃）与真空操作。

2. ‌冷凝单元‌

   ‌PFA冷凝管‌：蛇形或直形设计，可连接液氮或乙醇-干冰冷媒实现-80℃低温冷凝。

3. ‌收集与辅助单元‌

   ‌接收装置‌：PFA接收瓶（100mL-3L）或FEP试剂瓶，带放液阀，透明材质便于观察。

   分液系统‌：恒压滴液漏斗（PFA/FEP材质）或分液漏斗，支持惰性气体保护，避免污染。

   ‌精馏塔‌（高纯需求）：PFA填料塔，理论塔板数达50级以上，搭配再沸器深度提纯HF。

二、核心特性

1. ‌耐腐蚀性‌：耐受HF、王水、强酸强碱，无金属离子析出（如Na/Fe/Cu析出<0.1ppb），满足半导体级HF杂质控制（<0.5ppt）。

2. ‌耐温性‌：适用-200℃至+260℃，高温抗蠕变优于PTFE。

3. ‌透明可视‌：半透明材质便于观察液位、反应状态及气泡现象。

三、典型应用

半导体制造‌：电子级HF（金属杂质<1ppb）提纯，用于12英寸晶圆清洗。

氟化工‌：含氟化合物合成、废HF回收及核燃料处理。‌

制药/石油‌：含氟有机物冷凝回收，提升产品纯度。