工厂转让一台光驰otfc-1800/1550真空镀膜机

销售技术杨经理：18103045976

石英晶振膜厚计XTC/3+6点式石英晶体传感器

蒸发源电子枪2套

离子源23cmRF离子源

排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）

机械性能：

达到压力7.0×10-5Pa 以下

排气时间20分（大气压～1.3×10-3Pa)

基板温度最高：350℃

设备尺寸约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)

工作条件：

电源3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA

水流量180升/分以上

空气压力0.5MPa以上

重量约11200kg

机械特点：

真空室尺寸：Φ600-1800mm

60点/80点式光学膜厚监控

使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上

利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

工件架可选择钟罩式或行星式

排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵