12500 元
产品参数
- 品牌： 光驰
- 规格型号： otfc-1800
- 旺铺免费入驻
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工厂转让一台光驰otfc-1800/1550真空镀膜机
销售技术杨经理：18103045976
石英晶振膜厚计XTC/3+6点式石英晶体传感器
蒸发源电子枪2套
离子源23cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
机械性能：
达到压力7.0×10-5Pa 以下
排气时间20分（大气压～1.3×10-3Pa)
基板温度最高：350℃
设备尺寸约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
工作条件：
电源3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA
水流量180升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约11200kg
机械特点：
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
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- 品牌 光驰
- 规格型号 otfc-1800
- 行业分类 机械及行业设备/其他行业专用设备/镀膜机
- 产品类别
- 生产商 光驰
- 产地 中国江苏省苏州市
- 库存 2
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