规格产数
行业分类:
机械及行业设备/其他行业专用设备/镀膜机
品 牌:
光驰
规格型号:
GENER-2350
产品详情
工厂转让线上用日本光驰GENER-2350真空镀膜机(销售技术:杨经理18103045976)
应用:此真空镀膜机是镀制防污膜(AS膜)及防反射膜+防污膜(AS+AS膜)的大型光学镀膜机, 应用于智慧手机等所配的触摸屏。
特征:磁密封驱动的基板旋转方式可得到稳定和均匀的膜厚分布 配备RF离子源以提高膜的耐摩擦性。(已通过4万次以上摩擦试验) 根据摩擦试验的规格,摩擦的次数有所不同。 防污膜(AS 膜)批量生产。
规格:真空室 Ф2350mm×H 1400mm 基板架 Ф2200 mm,5片式基板架转速 20rpm 晶振式膜厚计 6点式水晶传感器蒸发源 电子枪1台,热阻蒸1台离子源 RF离子源
性能:达到压力 7.0E-5Pa 以下排气时间 15分以下(大气压~2.0×10-3 Pa)
工作条件:设备尺寸 约6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H) 电源 3相,200v,50/60Hz, 约80KVA 水流量 220升/分以上空气压力 0.5 - 0.7 MPa 重量 约12000kg