ZYGO 4寸激光干涉仪的综合信息整理： 

 一、产品型号与功能 ‌GPI-XP/D系列‌ 测量光束直径4英寸（102mm），采用632.8nm氦-氖激光器，支持平面、球面、柱面元件的曲率半径、面形及透过波前测量‌ 。 重复性精度达λ/10000（RMS），CCD分辨率为640×480像素，可扩展至1024×1024‌  。 配套标准镜头精度：平面镜头λ/20，球面镜头λ/10（F数覆盖F/0.65至F/7.1）‌  。 ‌Verifire MST‌ 支持多平行面测量（3-4个面），通过波长调制技术分离干涉条纹，适用于未镀膜平行平板的检测‌  。

 二、含软件、镜头及支架。高稳定性激光源（0.1纳米频率稳定度）。 

三、技术参数 ‌光源‌：632.8nm氦-氖激光器，相干长度>100米‌ 3 。 ‌分辨率‌：λ/8000（约0.0791纳米），支持3180条纹解析‌  。 ‌检测范围‌：最大样件尺寸254×203×203mm‌  。

 四、应用场景 主要用于光学元件（如透镜、反射镜）的面形检测，适用于精密制造、航空航天等领域‌