螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室,转子与泵体之间没有摩擦且保持一定的间隙,两个转子与泵体之间形成了密封腔,当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。因螺杆真空泵无需油润滑或水密封,泵腔内完全无油,因此螺杆真空泵是无油干式真空泵,在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优越性。螺杆真空泵广泛应用于电工、化工、制药、冶金、航空、电子、半导体等行业。
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