螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。
罗茨螺杆真空机组是以罗茨泵为主泵,以螺杆泵为前级泵串联而成的,提高极限真空和抽气速率。
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