电子超纯水设备

电子超纯水设备

电子超纯水设备是保证电子产品质量安全、促进电子业健康运行的依据主要应用于电子制造业，如集成电路生产中超纯水清洗硅片、半导体材料、晶元材料生产、加工等。其制备过程主要包括预处理、反渗透、初级离子交换和精制循环水系统等步骤。

电子超纯水设备的应用

1.电子超纯水设备是保证电子产品质量安全、促进电子业健康运行的依据，适用集成电路生产中超纯水清洗硅片、半导体材料、晶元材料生产、加工。

2.电子超纯水设备以其水质高、制水方便等优点，广泛应用于电力、电子、光伏、半导体等行

业。

电子超纯水设备的制备过程、1.电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、ro反渗透主机系统、离子交换混床(edi电除盐系统)系统等构成主要设备系统。

2.电子超纯水的制备一般可分为三个阶段:前级处理、反渗透、初级离子交换和精制循环水系统。

三、电子超纯水设备的特点

1.电子超纯水设备采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为:原水一多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备一混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水

点。

2.电子超纯水设备是为了保证电子产品的质量安全，促进电子行业的健康运行。电子级超纯水中国国家标准 (gb/t11446.1-1997)电子工业用超纯水设备工艺流程一、预处理→阳床→阴床→混合

床。