控制方式

手动人机界面控制

前级泵接口

KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵）

分子泵

F-100/150  51000转/分

分子泵抽气速率

140L/S

分子泵启动时间

≤2min

空载极限压强

≤1X10-4Pa

真空测量方式

冷阴极标准规管

真空测量范围

1E﹢2到1E-5 Pa

真空测量精度

1E-4到1E-5 Pa  ±40%的读数   1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数   重复性：　±5%

抽气接口

KF25

阀门类型

KF25手动挡板阀

系统电源

AC220V

系统功率

≤750W

环境温度

5~32℃

冷却方式

强制风冷却

湿度

≤80%RH  

外形尺寸

250   X360 X 300mm   （宽-深-高）

重量

25KG

随机配件：KF25高真空挡板阀X1个   KF25卡箍X3个   kf25-1米不锈钢波纹管x1根     说明书X1本  电源线x1根  冷阴极真空计X1个