依科诗朗 Yxlon 设计、制造和销售高端 3D X-RAY射线和 CT 系统解决方案,为工业环境提供集成服务 - 从研发实验室到生产环境。在航空航天、汽车和电子行业、材料科学行业的制造商依靠 Comet Yxlon 来最大限度地提高其产品质量和生产效率。
Comet Yxlon FF35 CT SEMI X 射线系统是一款创新的多功能高分辨率 CT 系统,适用于研发和质量保证。它是专门为半导体相关行业的检查而开发的。FF35 CT SEMI满足高SEMI®标准,包括危险和安全标准SEMI® S2-0818和SEMI® S8-0218,并已获得相应认证。
Comet Yxlon FF35 CT Metrology 将基于 CT 的尺寸控制精度(例如,最精细内部结构的测量)提升到一个新的水平。它在一次 CT 扫描中捕获几乎无限的测量点,与测量评估分离。无缝缺陷分析和设计件-实物比较可节省时间,减少产品抽样的校正循环和校正成本。FF35 CT 计量仪符合 VDI/VDE 2630 标准。
| 样品直径 | 530 毫米(20.9 英寸) |
| 样品高度 | 800 [毫米] (31.5 英寸) |
| 最大样品重量 | 50(千克) |
| 系统尺寸 (W/D/H) | 2960 x 1590 x 2120 毫米(毫米) |
| X 射线管 | 225 kV 定向光束管, 额外的可选 190 kV 传输管 |
| 可用的 CT 模式 | 锥形光束 CT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、FlexCenter(虚拟旋转轴)、ZoomScan、LayerScan、ScanExtend(FoV 扩展)、体积裁剪 |
| 操纵 | 花岗岩底座,主动空气阻尼,6 至 8 轴,宽 FDD 范围 |
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