二手日本光驰真空镀膜机OFTC-1300/1550/1800型号的转让核心信息整理:
| 组件 | OFTC-1300 | OFTC-1550 | OFTC-1800 |
|---|---|---|---|
| 真空室尺寸 | Ф1300mm | Ф1550×1800mm (SUS304不锈钢) | Ф1800×1920mm (SUS304) |
| 工件架 | Ф1400mm | Ф1400–1600mm(转速10-30rpm可调) | Ф1400–1600mm(行星式可选) |
| 蒸发源 | 双电子枪 | 双日本电子24P电子枪+12穴环形坩埚 | 双枪+环形坩埚(支持100层镀膜) |
| 离子源 | 17寸/23寸RF射频源 | 23寸光驰RF离子源(耐摩擦4万次验证) | 23寸RF离子源(提升膜层致密性) |
| 膜厚监控 | 6点晶控探头 | HOM2R-VIS350A光谱仪(350-1100nm) | 同等高精度监控+晶控传感器 |
| 排气系统 | 机械泵+扩散泵 | 机械泵+罗茨泵+扩散泵(≤7.0×10⁻⁵Pa) | 双扩散泵+低温冷凝器(抽真空≤15分钟) |
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