CLQ-晶圆无尘无氧化烘烤箱
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产品参数
- 品牌： 志圣全智能
- 规格型号： CLQ
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产品详情
晶圆无尘无氧化烘烤箱是半导体制造中的关键设备，其技术核心在于通过高纯度惰性气体环境与精密温控系统，彻底隔绝氧气与微粒污染。设备内部采用多层过滤器与密封设计，确保百级乃至十级无尘标准，同时通过快速升降温与均匀热场分布，避免晶圆材料氧化及热应力损伤。此类烘烤箱广泛应用晶圆钝化、合金化及固化工艺中，能够显著提升器件可靠性及良率，尤其适用于第三代半导体材料与先进封装环节。其智能化控制系统还可实时监测工艺参数，与生产线无缝集成，助力芯片制造向更高精度与效率迈进。
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产品参数
- 品牌 志圣全智能
- 规格型号 CLQ
- 行业分类 机械及行业设备/电热设备/工业烤箱
- 产品类别 工业烤箱
- 生产商 志圣全智能
- 产地 中国广东省深圳市
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