EV-246小型电阻蒸发镀膜机
真空腔室:1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接,上开盖和前开门结构;
真空系统:机械泵+分子泵(进口和国产可选);
极限真空:优于8
真空抽速:大气~8
基片台:可拆卸式,尺寸60
蒸发源及电源:水冷铜电极3组,逆变式蒸发电源,功率2KW,配源间防污隔板;
膜厚监控仪:采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;
控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空;
整机尺寸:L60cm





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