维意真空PECVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备 *** PE-CVD结构特点介绍： 1、PECVD系列真空管式高温烧结炉如图所示,集控制系统与炉膛为一体； 2、炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用进口高温合金电阻丝为加热元件； 3、高纯石英管横穿于炉体中间作为的炉膛，炉管两端用不锈钢法兰密封，工件式样在管中加热，加热元件 与炉管平行，均匀地分布在炉管外，有效的保证了温场的均匀性； 4、测温采用性能稳定，长寿命的“K”型热电偶，以提高控温的精准性； 5、它是专为高等院校﹑科研院所及工矿企业对金属，非金属及其它化和物材料在气氛或真空状态下进行烧 结﹑融化﹑分析而研制的专用设备； 6、MPECVD系列真空管式炉能够快速开启，快速升降温，方便客户对特殊材料的装载，烧制和观察； 7、炉体的控制面板配有触摸屏，控制电源开关，配有电源和保险指示灯，以便随时观察本系统的工作状态。