电子级氢氟酸
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项目 规格
EL 级 UP 级 UP-S级 UP-SS级 UP-SSS级
含量 % 49±0.5 49±0.5 49±0.2 49±0.2 49±0.2
色度, ≤ 10 10 5 5 5
H2SiF6 ppm, ≤ 50 50 10 10 10
Cl ppb, ≤ 5000 5000 200 5 5
NO3 ppb, ≤ 3000 3000 100 5 5
PO4 ppb, ≤ 1000 1000 100 5 5
SO4 ppb,≤ 5000 5000 200 10 10
微量金属ppb, ≤ 100 10 1 0.1 0.01
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